廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 Alcatel分子泵控制器維修
兩個(gè)旋片把轉子、定子內腔和定蓋所圍成的月牙型空間分隔成A、B、C三個(gè)部分,當轉子按圖示方向旋轉時(shí),與吸氣口相通的空間A的容積不斷地增大,A空間的壓強不斷的降低,當A空間內的壓強低于被抽容器內的壓強,根據氣體壓強平衡的原理,被抽的氣體不斷地被抽進(jìn)吸氣腔A,此時(shí)正處于吸氣過(guò)程。Alcatel分子泵控制器維修
1. 泵油量不足或油溫過(guò)高
泵油量不足會(huì )導致泵內缺少潤滑,從而使得機械泵軸承過(guò)熱,出現異常聲音。此時(shí)需要檢查油箱內油的余量,若不足需及時(shí)添加。
油溫過(guò)高則說(shuō)明泵內散熱不良,需及時(shí)清洗冷卻器并檢查散熱風(fēng)扇是否正常工作。Alcatel分子泵控制器維修
在抽除有毒、腐蝕性等對人體有害的氣體時(shí),拆卸前,請先使用N2對真空泵進(jìn)行清掃,務(wù)必使殘留氣體盡數排出。請注意,運行時(shí)真空泵零部件溫度很高,請在泵完全冷卻后再行拆裝,以免傷到自己。Alcatel分子泵控制器維修
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廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 高真空分子泵維修
在某些中真空應用中,需要進(jìn)入10-1Pa范圍,這對羅茨泵的二級機組往往難于實(shí)現,而使用二級羅茨泵串接的三級機組可使真空度提高一個(gè)數量級而進(jìn)入10-1Pa,所以中真空應用也常用三級機組。由于分子增壓泵在10-1Pa可以滿(mǎn)抽速,所以亦可以在三級中真空機組中取代兩級羅茨泵。一般地講,長(cháng)時(shí)間工作在中真空的低端壓力范圍的羅茨泵,分子增壓泵可以完全取代。而長(cháng)時(shí)間工作在中真空*端壓力范圍的羅茨泵相對而言應該較少,因為這一壓力范圍前級泵往往還具有強勁的抽速。高真空分子泵維修
一、真空泵正常運轉使用時(shí),每三天對以下內容進(jìn)行一次點(diǎn)檢:
A、泵油是否在游標范圍以?xún)?
B、泵油是否有變黃變黑、混濁現象
C、聲音是否出現異響
D、真空泵運行時(shí)是否出現漏油
當泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí),可優(yōu)先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高,單級泵往往不能滿(mǎn)足,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,即要求性能曲線(xiàn)在較高真空度時(shí)較平坦,可選用兩級泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機組作為抽真空裝置。高真空分子泵維修
廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵高真空分子泵維修
廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 進(jìn)口真空泵維修
真空泵油的冷卻性能
減少摩擦表面的溫度是一個(gè)重要的潤滑作用。摩擦表面運動(dòng)必須克服摩擦和工作,電力消耗在克服所有的工作的摩擦熱,結果將導致摩擦表面溫度上升。摩擦熱的大小與潤滑的狀態(tài),*大的高粘度,粘度較低,*低的熱邊界之間的兩個(gè)??梢钥闯?適當粘度的真空泵油不僅可以實(shí)現液體潤滑,減少摩擦熱的一代,但也可以及時(shí)摩擦熱泵體外。進(jìn)口真空泵維修
油污染或泵內有雜物
泵內存在鐵屑、銅屑或其他顆粒雜物,會(huì )影響泵的正常工作,甚至導致泵的故障。此時(shí)應將泵內所有部件清洗干凈并更換新油;對于已進(jìn)入泵內的雜物,則需拆卸泵體并清洗。
分子泵的故障解決方式有分子泵運行時(shí),轉速不穩定,油棉變黑,發(fā)黃,轉速限定解決方法有用電腦檢測分子泵運行狀態(tài),可以判斷出分子泵是否已磨損,如果不能判斷出來(lái)的話(huà)可以更換。如果是油棉變黑了,則說(shuō)明分子泵已經(jīng)磨損。這種現象主要集中在轉矩和軸承兩個(gè)部件上。
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